產(chǎn)品詳情

KQ-400MSE兆聲波清洗機產(chǎn)品介紹

KQ-400MSE是兆聲波清洗機MSE系列中的中間容量型號，以320×320×150mm方形槽體和15L容量，在實驗室小批量（KQ-300CE，10L）與產(chǎn)業(yè)大批量（KQ-500MSE，24L）之間提供了均衡過渡的中批量精密清洗方案。設(shè)備配備0.5/1.0/1.7MHz可選單頻兆聲頻率、400W超聲功率、500W加熱系統(tǒng)、7寸TFT全彩觸控操作界面、間歇脫氣功能和9組程序存儲，不銹鋼烤漆外殼，整機外形410×410×325mm。KQ-400MSE以320mm方形槽體對多種方形精密工件（晶圓盒、光學(xué)基板等）提供良好適配，適合精密制造中小型企業(yè)、研發(fā)中試產(chǎn)線以及有潔凈度要求的中批量精密清洗應(yīng)用場景。

320×320mm方槽的中批量均衡定位

KQ-400MSE的內(nèi)槽尺寸320×320mm在MSE系列方槽產(chǎn)品中處于中間檔位。這一尺寸相比KQ-500MSE（400×400mm）更為緊湊，設(shè)備占地從500×500mm縮減至410×410mm，節(jié)省約33%的臺面面積；相比KQ-300CE（250×250mm）又有明顯擴展，批量處理能力提升約65%。對于既不需要最大批量的產(chǎn)業(yè)產(chǎn)線、又超出實驗室規(guī)模需求的中型制造場景，320×320mm槽體提供了恰當(dāng)?shù)奶幚硪?guī)?！诰o湊設(shè)備尺寸內(nèi)實現(xiàn)適度的批量清洗能力，投資和運營成本更加合理。

KQ-400MSE 槽體規(guī)格

內(nèi)槽長 320mm

內(nèi)槽寬 320mm

內(nèi)槽深 150mm

容量 15L

320×320mm 方形對稱槽體 · 15L中等容量 · 整機僅 410×410mm

15L的容量對于中小規(guī)模精密制造應(yīng)用來說容量充裕——每批次可以放置標(biāo)準(zhǔn)晶圓承載架、多片光學(xué)基板或數(shù)件精密工件，滿足中試產(chǎn)線或中小型工廠的日常清洗需求。方形槽體對方形載具（如標(biāo)準(zhǔn)晶圓盒、方形基板載架）的空間適配性優(yōu)于矩形槽，工件擺放更加規(guī)整，有助于提高聲場作用的均勻性。320mm的方槽邊長能夠容納6英寸（150mm直徑）晶圓的整批標(biāo)準(zhǔn)裝載盒，也能放置多片中等尺寸的方形光學(xué)基板，覆蓋了精密制造中最常見的工件尺寸范圍，工件適配性廣。

產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格

MSE方槽系列完整產(chǎn)品線對比

兆聲波MSE方槽系列產(chǎn)品線對比：

▲ KQ-400MSE 在MSE系列中承上啟下，超聲功率高于科研級KQ-300CE（+67%），整機尺寸小于產(chǎn)業(yè)級KQ-500MSE（-33%），是中批量精密制造的均衡之選。

KQ-400MSE 與 KQ-400CE 的區(qū)別說明：兩款產(chǎn)品內(nèi)槽尺寸相同（320×320×150mm），容量相同（15L），整機尺寸相同（410×410×325mm），加熱功率相同（500W）。核心區(qū)別在于：KQ-400CE 超聲功率為360W（0-100%連續(xù)可調(diào)），KQ-400MSE 超聲功率為400W（固定額定功率）；KQ-400CE 屬于CE子系列（與400CE共享型號命名規(guī)范），KQ-400MSE 屬于MSE子系列（功率型命名）。實際選型時可結(jié)合是否需要功率連續(xù)可調(diào)功能作出判斷。

三檔兆聲頻率的中批量應(yīng)用配置

▲ 訂購時根據(jù)主要清洗工件類型選定兆聲頻率，320mm方槽對6英寸級方形工件載具適配良好，是該容量段方形工件清洗的優(yōu)選槽型。

400W超聲功率的中批量清洗能力

KQ-400MSE配備的400W超聲功率在15L容量中產(chǎn)生約26.7W/L的功率密度，與同系列方槽產(chǎn)品的功率密度水平一致，保證了中批量清洗效果的可靠性。400W功率通過均勻布置的換能器陣列在320×320mm的方形槽底面建立均勻兆聲場，確保槽內(nèi)各位置工件獲得相當(dāng)一致的兆聲作用。對于中批量生產(chǎn)，聲場均勻性是保證批內(nèi)產(chǎn)品潔凈度一致性的關(guān)鍵，方形槽體的四向?qū)ΨQ聲場分布特性配合均勻的換能器排布，為批內(nèi)一致性提供了良好的硬件支撐。

與CE系列設(shè)計功率連續(xù)可調(diào)（0-100%）不同，KQ-400MSE采用固定額定功率輸出，簡化了操作設(shè)置，減少了生產(chǎn)操作中因功率設(shè)定錯誤帶來的工藝風(fēng)險，適合生產(chǎn)環(huán)境中對工藝參數(shù)穩(wěn)定性要求更高、需要減少操作變量的應(yīng)用場景。三檔可選兆聲頻率配合固定功率，在保持足夠工藝靈活性的同時，使生產(chǎn)工藝更加規(guī)范可控。電路及器件經(jīng)過升級匹配，電功轉(zhuǎn)換率高，無功損耗低，確保額定功率的長期穩(wěn)定輸出。

500W加熱系統(tǒng)與溫控精度

KQ-400MSE配備的500W加熱系統(tǒng)對應(yīng)15L容量，加熱功率密度約33W/L，升溫速度適中——約8-10分鐘可將15L清洗液從室溫加熱至50℃工作溫度。這一升溫時間對于精密制造產(chǎn)線來說是可接受的準(zhǔn)備時間，不會對生產(chǎn)節(jié)拍造成明顯影響。溫度設(shè)定范圍室溫至80℃，7寸觸控屏提供精確的溫度設(shè)定輸入和實時溫度監(jiān)控，操作人員可以直觀確認(rèn)清洗液實際溫度與設(shè)定目標(biāo)溫度的差值，確保清洗工藝始終在溫度受控條件下進(jìn)行。

溫度控制對于兆聲清洗效果的穩(wěn)定性有重要影響。清洗液溫度影響液體粘度，進(jìn)而影響兆聲波的傳播速度和空化閾值；溫度還影響清洗化學(xué)品的溶解活性和工件表面的化學(xué)反應(yīng)速率。在中批量生產(chǎn)環(huán)境中，保持清洗液溫度在設(shè)定值的穩(wěn)定范圍內(nèi)，是確保批次間產(chǎn)品潔凈度一致性的必要條件。KQ-400MSE的觸控溫控系統(tǒng)精確穩(wěn)定，配合間歇脫氣功能，為中批量生產(chǎn)提供了完整的工藝條件控制能力。

間歇脫氣功能與中批量工藝管理

間歇脫氣功能（1s-59min59s可調(diào)）在KQ-400MSE的中批量應(yīng)用場景中發(fā)揮著工藝穩(wěn)定性保障的作用。對于連續(xù)多批次生產(chǎn)，清洗液狀態(tài)會隨每次清洗而逐漸變化，溶解氣體含量、化學(xué)品濃度、顆粒含量等參數(shù)都會發(fā)生漂移。通過在生產(chǎn)開始時執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)化脫氣程序，并在設(shè)定的批次間隔后再次脫氣刷新，可以將清洗液狀態(tài)維持在相對穩(wěn)定的工藝窗口內(nèi)，減少因清洗液狀態(tài)漂移引起的產(chǎn)品潔凈度波動，提高產(chǎn)品良率的批次穩(wěn)定性。

中批量生產(chǎn)中的脫氣管理建議：建議將班次開始脫氣（5-8分鐘）、每N批次后脫氣刷新（2-5分鐘）、清洗液更換后重新脫氣（8-12分鐘）等步驟納入標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序（SOP）?？衫?組程序存儲，將不同情景下的脫氣程序和生產(chǎn)清洗程序分別存儲管理，通過程序編號調(diào)用實現(xiàn)操作標(biāo)準(zhǔn)化，減少對操作人員經(jīng)驗的依賴，提高工藝的可重復(fù)性和產(chǎn)線的管理效率。

7寸觸控與9組程序的生產(chǎn)管理價值

KQ-400MSE的7寸TFT全彩觸控屏為中批量生產(chǎn)操作提供了直觀便捷的界面。生產(chǎn)環(huán)境中操作人員的注意力分配壓力較大，簡潔清晰的觸控界面能夠在最短時間內(nèi)完成參數(shù)確認(rèn)和設(shè)置變更。最長99小時59分鐘的時間設(shè)定范圍，即便是需要過夜浸泡處理的特殊工藝也能完整覆蓋，設(shè)定一次無需中途干預(yù)，降低了對操作人員的值守要求。數(shù)顯超溫度、超電壓、超電流多重保護(hù)系統(tǒng)，對中批量生產(chǎn)中可能出現(xiàn)的設(shè)備異常情況提供主動防護(hù)，在保護(hù)設(shè)備安全的同時避免因設(shè)備故障造成整批產(chǎn)品的損失。

9組程序存儲在中批量生產(chǎn)中的價值體現(xiàn)在多產(chǎn)品類型的快速切換能力上。中小型精密制造企業(yè)通常同時生產(chǎn)多種不同規(guī)格和類型的產(chǎn)品，每種產(chǎn)品對應(yīng)特定的清洗工藝參數(shù)組合。將各產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)清洗程序分別存入程序組，操作人員換產(chǎn)時只需選擇對應(yīng)程序編號啟動，避免了手動輸入?yún)?shù)的繁瑣和潛在錯誤，實現(xiàn)了清洗工序的標(biāo)準(zhǔn)化和產(chǎn)線換型的快速響應(yīng)。這對于多品種、中批量精密制造的柔性生產(chǎn)管理具有實際價值。

典型應(yīng)用場景

6英寸晶圓清洗：清洗6英寸晶圓及其標(biāo)準(zhǔn)裝載載具，320mm方槽對6英寸圓晶圓載具的容納適配良好，兆聲波實現(xiàn)亞微米顆粒高效去除。

中尺寸光學(xué)基板：清洗200-300mm規(guī)格的光學(xué)玻璃基板、光學(xué)晶體片，方形槽對方形基板的適配效率高，批內(nèi)潔凈度一致性好。

精密電子封裝基板：中批量清洗BGA封裝基板、多層陶瓷基板，去除焊接殘留、研磨顆粒和化學(xué)污染，提升封裝良率。

MEMS器件中試：從實驗室研究向中試生產(chǎn)過渡階段的MEMS晶圓精密清洗，處理量介于實驗室單片與大批量產(chǎn)線之間。

精密光學(xué)濾光片：中批量清洗各類光學(xué)濾光片、分光鏡、激光反射鏡等，1.7MHz頻率選項保護(hù)精密鍍膜，1.0MHz高效去除顆粒污染。

LED外延片處理：LED芯片制造工序中的外延片精密清洗，去除外延生長工藝后的顆粒和化學(xué)殘留，提高芯片量產(chǎn)良率。

精密傳感器批量：壓力傳感器、流量傳感器、加速度傳感器等精密傳感器的中批量制程清洗，兆聲溫和處理保護(hù)精密敏感結(jié)構(gòu)。

硬盤零部件：中批量清洗硬盤盤片、讀寫頭支架等精密存儲介質(zhì)零部件，納米級顆粒去除防止存儲可靠性故障。

KQ-400MSE以320×320mm方槽和15L容量，在科研實驗室與產(chǎn)業(yè)大批量之間建立了有價值的中間檔位，滿足了精密制造中規(guī)模適中的批量清洗需求。方槽均勻聲場保證批內(nèi)潔凈度一致性，中批量容量兼顧效率與靈活性，兆聲精密實現(xiàn)納米級顆粒去除，間歇脫氣維持工藝條件穩(wěn)定，程序管理支持多品種切換生產(chǎn)。對于中小型精密制造企業(yè)，KQ-400MSE是均衡高效的專業(yè)選擇。

操作使用與工藝實施建議

KQ-400MSE在生產(chǎn)環(huán)境中的操作建議：設(shè)備應(yīng)放置在通風(fēng)良好的專用清洗工位，使用專用電源回路（建議16A獨立回路）。首次使用前，根據(jù)主要生產(chǎn)產(chǎn)品類型建立并驗證清洗程序，將經(jīng)過工藝驗證的參數(shù)（溫度、時間、脫氣設(shè)定）存入對應(yīng)程序組。日常生產(chǎn)前執(zhí)行班次開始脫氣程序，達(dá)到清洗工作溫度后方可開始批量清洗，避免冷液直接開始清洗導(dǎo)致的溫度波動影響工藝效果。

工件放置時使用專用載具或不銹鋼托架，確保工件在槽內(nèi)位置穩(wěn)定均勻。對于需要精確追溯的產(chǎn)品，建議建立每批次清洗記錄（程序編號、實際溫度、批次數(shù)量、操作人員等），與產(chǎn)品追溯體系關(guān)聯(lián)，滿足精密制造質(zhì)量管理的記錄要求。定期對清洗液狀態(tài)進(jìn)行評估（顆粒含量、化學(xué)品濃度等），根據(jù)評估結(jié)果決定是否需要更換清洗液，維持穩(wěn)定的清洗工藝窗口。

選擇KQ-400MSE的理由

KQ-400MSE兆聲波清洗機以320×320mm中型方形槽體、15L容量、0.5/1.0/1.7MHz可選單頻兆聲頻率、400W超聲功率、500W加熱系統(tǒng)、間歇脫氣功能、7寸TFT觸控操作和9組程序存儲，為精密制造中批量應(yīng)用場景提供了均衡專業(yè)的兆聲波清洗解決方案。設(shè)備在保留科研級設(shè)備全部精密功能的基礎(chǔ)上，以適中的容量和合理的設(shè)備尺寸，實現(xiàn)了從實驗室到產(chǎn)線的自然過渡，是中小型精密制造企業(yè)、研發(fā)中試產(chǎn)線的理想配置。

選擇KQ-400MSE，就是選擇在中批量規(guī)模上實現(xiàn)納米級精密清洗的專業(yè)方案。設(shè)備配備完整的技術(shù)文檔和工藝指導(dǎo)材料，提供專業(yè)的安裝調(diào)試支持和持續(xù)的售后技術(shù)服務(wù)。歡迎訪問官方網(wǎng)站了解兆聲波清洗系列完整產(chǎn)品信息，或聯(lián)系我們的技術(shù)專家獲取工藝方案咨詢、選型建議和產(chǎn)線集成設(shè)計支持，讓KQ-400MSE成為您精密制造工序中的可靠清洗保障！